سلیکن نائٹرائڈ فلم کی نمو کا طریقہ کار
LPCVD نمو مساوات:
PECVD نمو کے لئے مساوات یہ ہے:
مذکورہ دو شخصیات سے ، ہم دیکھ سکتے ہیں:
SIH4 ایس آئی ذریعہ فراہم کرتا ہے ، اور N2 یا NH3 N ماخذ فراہم کرتا ہے۔
تاہم ، ایل پی سی وی ڈی کے اعلی رد عمل کے درجہ حرارت کی وجہ سے ، ہائیڈروجن ایٹم اکثر سلیکن نائٹریڈ فلم سے ہٹا دیئے جاتے ہیں ، لہذا ری ایکٹنٹ میں ہائیڈروجن کا مواد کم ہوتا ہے۔ سلیکن نائٹرائڈ بنیادی طور پر سلیکن اور نائٹروجن عناصر پر مشتمل ہے۔
PECVD رد عمل کا درجہ حرارت کم ہے ، اور فلم میں ہائیڈروجن ایٹموں کو رد عمل کے ضمنی پروڈکٹ کے طور پر برقرار رکھا جاسکتا ہے ، جس میں این ایٹموں اور ایس آئی ایٹموں کی پوزیشنوں پر قبضہ کیا جاتا ہے ، جس سے فلم میں ہائیڈروجن کا مواد زیادہ ہوتا ہے ، جس کے نتیجے میں پیدا ہونے والی فلم گھنے نہیں ہوتی ہے۔
نائٹروجن ماخذ فراہم کرنے کے لئے پی ای سی وی ڈی اکثر NH3 کا استعمال کیوں کرتا ہے؟
NH3 انووں میں NH سنگل بانڈ ہوتے ہیں ، جبکہ N2 انووں میں N≡N ٹرپل بانڈ ہوتے ہیں۔ N≡N زیادہ مستحکم ہے اور اس میں بانڈ کی زیادہ توانائی ہے ، یعنی رد عمل کے ل. ایک اعلی درجہ حرارت کی ضرورت ہے۔ NH₃ کی کم NH بانڈ انرجی کم درجہ حرارت PECVD عمل میں نائٹروجن ذرائع کے لئے پہلی پسند بناتی ہے۔
