ویفر کے فرنٹ اینڈ پراسیس سے گزرنے کے بعد، چپ کی تیاری مکمل ہو جاتی ہے، اور اسے ویفر پر چپس کو الگ کرنے اور آخر میں پیک کرنے کے لیے کاٹنے کی ضرورت ہوتی ہے۔ اس کے علاوہ، کچھ ایسے عمل اور ٹیسٹ بھی ہیں جن کے لیے خالص سلکان ویفر سبسٹریٹ کو استعمال کے لیے چھوٹے مربع ٹکڑوں میں کاٹنا پڑتا ہے۔
یووی فلم اور بلیو فلم کے درمیان فرق
ویفر ڈائسنگ سے پہلے، فلم کی ایک تہہ کو ویفر کی پشت پر چپکا دیا جائے گا۔ فلم کی اس تہہ کا کام چپ کو فلم کے ساتھ چپکانا ہے، جو کاٹنے کے عمل کے دوران دانے کو برقرار رکھ سکتا ہے اور کاٹنے کے عمل کے دوران ٹوٹنے، نقل مکانی اور گرنے کے مسائل کو کم کر سکتا ہے۔
اصل پیداوار میں، ویفرز اور چپس کو ٹھیک کرنے کے لیے استعمال ہونے والی فلم میں عام طور پر یووی فلم یا بلیو فلم استعمال ہوتی ہے۔
یووی فلم: بنیادی طور پر ویفر کو پتلا کرنے کے عمل میں استعمال کیا جاتا ہے۔
بلیو فلم: بنیادی طور پر wafer dicing کے عمل میں استعمال کیا جاتا ہے؛
تصویر 1. یووی اور بلیو فلموں کی خصوصیات یووی اور بلیو فلمیں
یووی فلم اور نیلی فلم دونوں چپچپا ہیں۔ چپکنے کی ڈگری عام طور پر چپچپا چھیلنے کی ڈگری سے ظاہر ہوتی ہے، عام طور پر N/20 ملی میٹر یا N/25 ملی میٹر کی اکائیوں میں۔ 1 N/20 ملی میٹر کا مطلب ہے کہ ٹیسٹ کی پٹی 20 ملی میٹر چوڑی ہے اور اسے 180 ڈگری کے چھیلنے والے زاویے پر ٹیسٹ بورڈ سے چھیلنے کے لیے 1 N ہے۔
UV فلم ایک خاص کوٹنگ ہے جو PET فلم سبسٹریٹ کی سطح پر بالائے بنفشی روشنی اور مختصر طول موج کی نظر آنے والی روشنی کو روکنے کے لیے لگائی جاتی ہے۔ شکل 2 ایک عام UV فلم کی ساخت کا خاکہ ہے۔
عام طور پر یووی فلم تین تہوں پر مشتمل ہوتی ہے۔ بنیادی مواد پولی وینیل کلورائڈ ہے، چپچپا پرت درمیان میں ہے، اور ریلیز فلم چپچپا پرت سے ملحق ہے۔ کچھ یووی فلم ماڈلز کے پاس یہ ریلیز فلم نہیں ہے۔
تصویر 2. یووی فلم کی ساخت
UV فلم کو عام طور پر الٹرا وایلیٹ شعاع ریزی ٹیپ کہا جاتا ہے۔ یہ نسبتاً مہنگا ہے اور استعمال نہ ہونے پر اس کی میعاد مختصر ہوتی ہے۔ اسے تین اقسام میں تقسیم کیا گیا ہے: ہائی واسکاسیٹی، میڈیم واسکعثاٹی اور کم واسکعثاٹی۔
الٹرا وایلیٹ شعاع ریزی سے پہلے ہائی واسکاسیٹی UV فلم کی viscosity 5000mN/20mm ~ 12000mN/20mm ہے۔ بالائے بنفشی شعاع ریزی کے بعد، چھیلنے کی viscosity 1000mN/20mm سے کم ہوتی ہے۔
الٹرا وایلیٹ شعاع ریزی سے پہلے کم viscosity UV فلم کی چھیلنے والی viscosity تقریباً 1000mN/20mm ہوتی ہے۔ الٹرا وائلٹ شعاع ریزی کے بعد، چھیلنے کی viscosity تقریباً 100mN/20mm تک گر جاتی ہے۔
بالائے بنفشی شعاع ریزی کے بعد، کم وسکوسیٹی UV فلم کی ویفر سطح پر کوئی بقایا گوند نہیں رہے گا، اور دانے کو ہٹانا آسان ہے۔
یووی فلم میں مناسب توسیع ہوتی ہے، اور پتلا ہونے اور ڈائس کرنے کے عمل کے دوران پانی اناج اور ٹیپ کے درمیان نہیں گھسے گا۔
بلیو فلم کو عام طور پر الیکٹرانک گریڈ ٹیپ کہا جاتا ہے۔ یہ نسبتاً سستا ہے۔ یہ ایک نیلی فلم ہے جس میں مستقل چپچپا پن ہے۔ اس کی viscosity چھیلنے کی ڈگری عام طور پر 100~3000mN/20mm ہوتی ہے۔ یہ درجہ حرارت کے اثر و رسوخ کی وجہ سے بقایا چپکنے والی پیدا کرے گا۔ اس کے برعکس، یووی فلم زیادہ مستحکم ہے اور اس میں نیلی فلم سے کم بقایا چپکنے والی ہے۔
بلیو فلم کے مقابلے میں، UV فلم کو اس کی متغیر viscosity چھیلنے کی ڈگری کی وجہ سے بہت فائدہ ہوتا ہے۔ اس کے اہم کام ہیں: ویفر کو پتلا کرنے کے دوران ویفر کو ٹھیک کرنا؛ ویفر ڈائسنگ کے دوران چپ کو گرنے یا کنارے کو ٹوٹنے سے بچانے کے لیے؛ پہلے سے کٹی ہوئی چپ کو گرنے سے روکنے کے لیے ویفر کو پلٹائیں اور ٹرانسپورٹ کریں۔
یووی فلم اور بلیو فلم کے مختلف پیرامیٹرز کے استعمال کو معیاری بنانا، اور چپ کے لیے درکار پروسیسنگ ٹیکنالوجی کے مطابق مناسب یووی فلم یا بلیو فلم کا انتخاب لاگت کو بچا سکتا ہے اور چپس کی صنعتی ترقی میں اپنا حصہ ڈال سکتا ہے۔
بلیڈ ڈائسنگ یا بلیڈ آرا کرنا
کاٹنے کے دوران بڑے رگڑ کی وجہ سے، ڈی آئی واٹر (ڈی آئنائزڈ واٹر) کو ہر طرف سے لگاتار سپرے کیا جانا چاہیے۔ اس کے علاوہ امپیلر کو ہیرے کے ذرات کے ساتھ جوڑا جانا چاہیے تاکہ اسے بہتر طریقے سے کاٹا جا سکے۔
اس وقت، کٹ (بلیڈ کی موٹائی: نالی کی چوڑائی) یکساں ہونی چاہیے اور اس کی چوڑائی سکریب نالی سے زیادہ نہیں ہونی چاہیے۔ ایک طویل عرصے سے، آرا کاٹنے کا سب سے زیادہ استعمال ہونے والا روایتی طریقہ ہے، اور اس کا سب سے بڑا فائدہ یہ ہے کہ یہ تھوڑے وقت میں بڑی تعداد میں ویفر کو کاٹ سکتا ہے۔
تاہم، اگر سلائس کو کھانا کھلانے کی رفتار بہت بڑھ جاتی ہے، تو چھوٹی چپ کے چھیلنے کے کنارے کا امکان بڑھ جائے گا۔ لہذا، امپیلر کی گردشوں کی تعداد کو تقریباً 30،000 بار فی منٹ پر کنٹرول کیا جانا چاہیے۔
بلیڈ کی اصلاح
سلائسنگ کے نئے چیلنجز سے نمٹنے کے لیے، سلائسنگ سسٹم اور بلیڈ کے درمیان تعاون ضروری ہے۔ یہ خاص طور پر اعلی درجے کی ایپلی کیشنز کے لیے درست ہے۔
بلیڈ عمل کی اصلاح میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔ سائز کے علاوہ، تین کلیدی پیرامیٹرز بلیڈ کی خصوصیات کا تعین کرتے ہیں: ہیرے کا سائز، ہیرے کا مواد اور بائنڈر کی قسم۔
بائنڈر مختلف دھاتوں اور/یا ہیرے کی کھرچنے والی چیزوں کا ایک میٹرکس ہے جو اس میں تقسیم ہوتا ہے۔ دیگر عوامل، جیسے فیڈ کی شرح اور تکلا کی رفتار، بلیڈ کے انتخاب کو بھی متاثر کر سکتے ہیں۔
