پتلی فلم کے جمع ہونے کی یکسانیت کا حساب کیسے لگائیں؟

پتلی فلم جمع کی یکسانیت کیا ہے؟

پتلی فلم کی یکسانیت سے مراد پورے ویفر میں پتلی فلم کی موٹائی کی تقسیم کی مستقل مزاجی ہے۔ اچھی یکسانیت کا مطلب یہ ہے کہ پتلی فلم کی موٹائی ویفر پر ہر پوزیشن پر بہت قریب ہے۔

پتلی فلم کی یکسانیت کی اقسام کیا ہیں؟

عام طور پر، مندرجہ ذیل اقسام پر غور کیا جاتا ہے:

●Wafer کی یکسانیت کے اندر: ایک ویفر کے اندر یکسانیت۔

●Wafer-to-wafer یکسانیت: مختلف ویفرز کے درمیان یکسانیت۔

●بہت سے زیادہ یکسانیت: ویفرز کے مختلف بیچوں کے درمیان یکسانیت۔

یکسانیت کا حساب کیسے لگایا جاتا ہے؟

ایک مثال کے طور پر ویفر کے اندر یکسانیت کو لے کر، اس کا معیاری انحراف فارمولہ استعمال کرتے ہوئے شمار کیا جاتا ہے:

یہ فارمولہ ہر ڈیٹا پوائنٹ اور ڈیٹا کے وسط کے درمیان مربع فرق کی اوسط کے مربع جڑ کا حساب لگاتا ہے۔

σ (معیاری انحراف): ڈیٹا کے منتشر ہونے کی ڈگری کی نمائندگی کرتا ہے۔ معیاری انحراف جتنا بڑا ہوگا، بازی اتنی ہی زیادہ ہوگی۔

N: ڈیٹا پوائنٹس کی کل تعداد ناپی گئی۔

ٹی: ith ڈیٹا پوائنٹ کی موٹائی کی قدر۔

مطلب: تمام ڈیٹا پوائنٹس کی اوسط قدر۔

(ti−Mean)^2: ہر ڈیٹا پوائنٹ اور وسط کے درمیان مربع فرق۔

∑: خلاصہ۔

فارمولہ کو سمجھنا کچھ مشکل ہے، اس لیے یہاں ایک مثال ہے:

فرض کریں کہ ہمارے پاس پتلی فلم موٹائی کے ڈیٹا پوائنٹس کا ایک سیٹ ہے: 55.1, 54.8, 55.3, 54.9, 55{9}}, 54.7, 55.2, 54.9, 55.1, 54.8۔

●سب سے پہلے، ان 10 پوائنٹس کے اوسط کا حساب لگائیں: اوسط=54.98۔

●پھر، ہر موٹائی اور اوسط کے درمیان مربع فرق کا حساب لگائیں: {{0}}۔{4}}144، 0۔{8}}324، {{1{{12} }}}.1024، 0۔{18}}004، 0.0004، 0.0784، 0.0484، 0.0004، 0.0144، 0.0324۔

●ان مربع فرقوں کو جمع کریں اور اوسط تلاش کریں: (0۔{1}}۔{2}}۔{3}}۔{4}}۔{5}}۔{6} }۔{7}}۔{8}}۔{9}}.0324)=0.3996۔

●آخر میں، معیاری انحراف کا حساب لگائیں: σ=0.193۔