مونو کرسٹل لائن سلکان ویفر کی پروسیسنگ ٹیکنالوجی

کھانا کھلانا → پگھلنا → گردن کی نشوونما → کندھے کی نشوونما → آئسومیٹرک گروتھ → دم کی نشوونما
(1) فیڈنگ: پولی سیلیکون کے خام مال اور نجاست کو کوارٹج کروسیبل میں ڈالیں۔ نجاست کی قسم مزاحمت کی N یا P قسم پر منحصر ہے۔ نجاست کی اقسام بوران، فاسفورس، اینٹیمونی اور آرسینک ہیں۔
(2) پگھلنا: پولی سیلیکون خام مال کو کوارٹج کروسیبل میں شامل کرنے کے بعد، کرسٹل گروتھ فرنس کو بند اور خالی کرنا چاہیے، پھر ایک خاص دباؤ کی حد کو برقرار رکھنے کے لیے اعلیٰ پاکیزگی والے آرگن سے بھرنا چاہیے، اور پھر گریفائٹ ہیٹر کی طاقت کو آن کرنا چاہیے۔ پگھلنے والے درجہ حرارت (1420 ڈگری) تک گرمی، پولی سیلیکون کا خام مال پگھل جاتا ہے۔
(3) گردن کی نشوونما: جب سلکان پگھلنے کا درجہ حرارت مستحکم ہو تو آہستہ آہستہ سیڈ کرسٹل کو سلکان پگھلنے میں ڈوبیں۔ تھرمل تناؤ کی وجہ سے جب سیڈ کرسٹل سلیکون پگھلنے والے فیلڈ کے ساتھ رابطے میں ہوتا ہے، تو بیج کرسٹل میں سندچیوتی پیدا ہوتی ہے، اور ان ڈس لوکیشنوں کو گردن کی نشوونما کے ذریعے ختم کرنا ضروری ہے۔ گردن کی نشوونما کا مقصد بیج کے کرسٹل کو تیزی سے اوپر اٹھانا ہے، تاکہ اگے ہوئے بیج کرسٹل کا قطر ایک خاص سائز (4-6ملی میٹر) تک کم ہو جائے۔ چونکہ سندچیوتی لکیر نمو کے محور کے ساتھ ایک زاویہ بناتی ہے، جب تک گردن کافی لمبا ہو، سندچیوتی کرسٹل کی سطح سے باہر نکل سکتی ہے، جس سے صفر سندچیوتی کے ساتھ ایک کرسٹل پیدا ہوتا ہے۔
(4) کندھے کی نشوونما: پتلی گردن کے بڑھنے کے بعد، درجہ حرارت اور کھینچنے کی رفتار کو کم کرنا چاہیے تاکہ کرسٹل کا قطر بتدریج مطلوبہ سائز تک بڑھ جائے۔
(5) مساوی قطر کی نشوونما: پتلی گردن اور کندھوں کے بڑھنے کے بعد، پنڈ کے قطر کو پلس یا مائنس 2 ملی میٹر کے درمیان کھینچنے کی رفتار اور درجہ حرارت کو مسلسل ایڈجسٹ کرکے برقرار رکھا جاسکتا ہے۔ ایک مقررہ قطر والا حصہ isodiameter حصہ کہلاتا ہے۔ Monocrystalline سلکان ویفرز برابر قطر والے حصوں سے لیے جاتے ہیں۔
(6) دم کی نشوونما: مساوی قطر والے حصے کے بڑھنے کے بعد، اگر پنڈ کو فوری طور پر مائع کی سطح سے الگ کر دیا جائے، تو تھرمل تناؤ پنڈ میں نقل مکانی اور پھسلنے کی لکیروں کا سبب بنے گا۔ لہذا، اس مسئلے سے بچنے کے لیے، پنڈ کے قطر کو بتدریج کم کرنا چاہیے جب تک کہ یہ ایک تیز نقطہ بن کر مائع کی سطح سے الگ نہ ہو جائے۔ اس عمل کو دم کی نمو کہا جاتا ہے۔ بڑھے ہوئے کرسٹل پنڈ کو کچھ وقت کے لیے ٹھنڈا کرنے کے لیے اوپری فرنس چیمبر میں اٹھایا جاتا ہے اور پھر نشوونما کا دور مکمل کرنے کے لیے باہر لے جایا جاتا ہے۔